南京滨正红仪器有限公司

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PFA显影花篮蚀刻酸洗硅片承载器本底值低防污染

2023-10-25 03:31:01  580次浏览 次浏览
价 格:面议

PFA花篮

PFA花篮PFA wafer Cassette又名清洗花蓝 铁氟龙卡匣 铁氟龙晶舟盒 铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),能做激光雕刻能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。

主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,搭配PFA把手使用

二、参数

名称

规格

耐温性

应用

PFA花篮

PP Cassette

2寸

-200~260℃

酸碱传输制程

4寸

6寸

三、特点

1.腐蚀:耐受强酸强碱

2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输

3.耐高低温:-200~260℃

4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;

5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;

6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染

7.化学性能稳定

公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验,公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发,截止目前,公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮,太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。

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